[21p-A302-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:15 〜 14:30

[21p-A302-6] 原子層エッチングにおけるプラズマ誘起欠陥へのラジカル吸着挙動

オソニオ アイラ ペラロ¹、〇堤 隆嘉¹、石川 健治¹、堀 勝¹ (1.名大)

キーワード：

エッチング,ラジカル,欠陥