講演情報
[21p-A307-10]複合酸化膜原子層堆積におけるDMZとTDMATの競合吸着反応の観察
〇鈴木 晴登1、宮澤 諒1、三浦 正範1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工)
キーワード：
原子層堆積法,複合酸化膜,半導体プロセス
本研究では酸化亜鉛の原料であるDMZと酸化チタンの原料であるTDMATを室温原子層堆積法を用いて連続吸着させた。反応速度を求めるために連続吸着を赤外吸収分光法でその場観察した。また、各原料ガス照射量のサンプルのZn/Ti原子比を測定したところ、後照射のTDMATの量と原子比の関係はラングミュアの等温吸着式を修正した２サイト吸着モデルで表され、その組成比は計算で推定できることが分かったため報告する。