[21p-A307-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

17:45 〜 18:00

[21p-A307-18] レーザ照射による酸化チタンの結晶構造および物性の制御

〇堤 正紀¹、田中 秀和² (1.村田製作所、2.阪大産研)

キーワード：

半導体,レーザ,酸化チタン

所望の特性を有する酸化チタンを位置選択的に形成するためUVレーザ照射による結晶構造/電気伝導性制御を試みた。レーザ照射後の酸化チタンはフルーエンスに応じてルチルTiO₂、Ti₃O_5、Ti₂O₃へと変化した。これに対応して電気伝導機構はバンド伝導からVRH伝導へと変わった。