[21p-A307-1~23] 6.3 酸化物エレクトロニクス

18:15 〜 18:30

[21p-A307-20] プラズマスパッタリングRF電力によるLiTiO薄膜の結晶性制御とLiイオン電池への応用

〇丹羽 亮斗¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、中田 智久¹、横井 玲音¹、花井 稜¹、益本 幸泰¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

Liイオン電池,スパッタリング