講演情報
[21p-A307-23]顕微ラマン分光法とスペクトル解析による多層電極付n型β-Ga2O3結晶の熱応力に関する研究
〇各務 良哉1、須田 潤1 (1.中京大工)
キーワード：
ワイドギャップ半導体,顕微ラマン分光法,電子物性
車載用パワーデバイスにおいてβ-Ga2O3は、200℃以上の高温動作させる場合があり、電極界面の熱応力変化や電子物性を知る必要がある。本研究では、高温領域の多層電極(Ti/Au)付n型β-Ga2O3結晶の電極界面におけるラマンスペクトルより熱応力と高温電子物性を求めた。電極近傍と遠方のn型β-Ga2O3結晶の比抵抗を比較すると、電極近傍の方が遠方より大きくなっていくことがわかった。