講演情報
[21p-A501-1]AlOx被覆したAuPd合金を用いたナノギャップスイッチ効果
〇(M1)筒井 優貴1、竹井 慎登1、内藤 泰久2、塚越 一仁3、菅 洋志1 (1.千葉工大、2.産総研、3.物材機構)
キーワード：
ナノギャップ,エレクトロマイグレーション
走査型電子顕微鏡（SEM）を用いて，AlOx被覆したAuPd合金を用いたナノギャップ構造の抵抗スイッチ後の構造を観察した．AlOx被覆がない電極は，ワイヤ部分がより薄膜化し，電極全体の形状が変化した．AlOx被覆がある電極は，形状の変化はみられるが，ワイヤがより薄膜化せずに存在した．この結果は，電極全体を絶縁膜のAlOxで覆うことでナノギャップ電極の電極形状の変化を抑制することが可能であると示された．