[21p-B101-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:30 〜 13:45

[21p-B101-1] スパッタ法を用いて作製した高濃度Ge添加n型GaN薄膜の光学特性評価

〇内藤 愛子¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

ドーピング,窒化ガリウム,スパッタリング