講演情報
[21p-B101-11]InGaN熱電薄膜の結晶成長と特性評価
〇出浦 桃子1、服部 翔太2、荒木 努2 (1.立命館大R-GIRO、2.立命館大院理工)
キーワード：
InGaN,熱電特性,RF-MBE
我々は，窒化物半導体の熱電特性解明と熱電性能向上を目指している．熱電特性を詳細かつ正確に解明するためには，さまざまな組成・構造で高品質な結晶を得る必要がある一方，十分な熱電性能を得るためには膜厚が大きいことが望ましい．今回は，InGaN混晶熱電薄膜についてIn組成制御と特性評価を行った．