[21p-B101-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

15:15 〜 15:30

[21p-B101-7] ScAlMgO₄基板上RF-MBE成長InGaN薄膜の極微構造評価

〇山田 泰弘¹、久保 祐太¹、和田 邑一¹、出浦 桃子²、藤井 高志¹、荒木 努¹ (1.立命館大理工、2.R-GIRO)

キーワード：

透過電子顕微鏡,ScAlMgO4,RF-MBE