講演情報
[21p-B203-2]ナノカーボンの触媒作用を援用したGe表面の選択エッチング
～エッチング液に添加した酸化剤がエッチング特性に与える影響～
〇(M1)山本 聖也1、李 君寰1、稲垣 耕司1、有馬 健太1 (1.阪大院工)
キーワード：
エッチング,触媒,ナノカーボン
我々は，溶存酸素水中でナノカーボンと接触したGe表面が選択的にエッチングされる非貴金属型の触媒アシストエッチングを見出した．これまでに窒素ドーピング等によりエッチング速度の向上を図ってきた．今回我々は，エッチング液への酸化剤の添加が，さらなるエッチング速度の向上につながると予想した．そして，溶液中のO2ガスよりも強力な酸化剤であるH2O2をエッチング液に添加し，Ge表面の構造に与える影響を調査した．