[21p-B203-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

14:45 〜 15:00

[21p-B203-6] ナノシートトランジスタに向けたキャリア輸送モデリング

〇福田 浩一¹、服部 淳一¹ (1.産総研)

キーワード：

半導体,ナノシートトランジスタ,セルオートマトン法

ナノシートトランジスタの移動度モデリングに向けたセルオートマトン法の精度に関する検討を行なった。