講演情報
[21p-B204-4]量子化微小交流電圧標準のマイクロ波終端回路の最適化
〇山森 弘毅1、丸山 道隆1、浦野 千春1、金子 晋久1 (1.産総研)
キーワード：
電圧標準,NbN
電圧標準チップは、ジョセフソン接合に与えたマイクロ波によって発生するシャピロステップを利用しており、動作マージンの向上を目標に、マイクロ波の終端回路の最適化を行ったので報告する。具体的には、終端抵抗にはPd薄膜を用いているが、抵抗パターンの形状による発熱の温度分布の違いを数値シミュレーションにより比較し、また抵抗値の作製上のずれによるインピーダンスミスマッチの影響を分布定数回路を用いて数値シミュレーションし実験結果と比較した。