講演情報
[21p-C402-10]コロナ放電の負イオン照射によるC-Hダイヤモンド表面伝導性の改善
〇(B)山本 稜将1、賈 学楨1、成田 憲人1、太田 康介1,2、平岩 篤1、藤嶌 辰也2、川原田 洋1,2,3 (1.早大理工、2.(株) Power Diamond Systems、3.早大材研)
キーワード：
ダイヤモンド,水素終端,コロナ放電式イオナイザー
本研究では(001)アンドープダイヤモンド基板上にTi/Pt/Au電極(間隔5 μm、幅70 μm)形成後、水素終端化したデバイスに対し、コロナ放電式イオナイザーを用いて負イオン照射した。これにより、VDS=−10 Vにおいてドレイン電流が0.262 mAから3.61 mAへ増加した。この伝導性は、チャネル領域にレジストの塗布および除去後も維持され、トレンチ側壁に対しても負イオン照射は有効だった。