セッション詳細

[21p-C402-1~16]6.2 カーボン系薄膜

2023年9月21日(木) 13:30 〜 18:00
C402 (国際交流会館)
毎田 修(阪大)、 大曲 新矢(産総研)、 稲葉 優文(九大)

[21p-C402-1]HFCVDを用いたホモエピタキシャルダイヤモンド(111)成長におけるフィラメント温度の影響

〇市川 公善1、田口 稜真1、小林 和樹1、松本 翼1、林 寛1、猪熊 孝夫1、山崎 聡1、徳田 規夫1 (1.金沢大)

[21p-C402-2]高分解能EBSD法による単結晶ダイヤモンド中の転位束の解析

〇田中 孝治1、高野 美和子2、梅沢 仁1、杢野 由明1、山田 英明1 (1.産総研、2.物材研)

[21p-C402-3]Ir/MgO基板上で成長させた自立ヘテロエピタキシャルダイヤモンド厚膜の曲率評価

〇(M2)中村 友哉1、木村 豊2、澤邊 厚仁3、大島 龍司1,2、會田 英雄1 (1.長岡技科大、2.ディスコ、3.青学大)

[21p-C402-4]Ir/sapphire基板上ヘテロエピタキシャル成長(001)面ダイヤモンド膜の断面SEM像に見られる縞状コントラストの分析

〇望月 梧生1、毎田 修1、金 聖祐2、加藤 学2、小山 浩司2、本田 達也2、市川 修平1、小島 一信1 (1.阪大院工、2.Orbray)

[21p-C402-5]B注入IIa型CVDダイヤモンドの電気特性への活性化アニール時間の影響

〇関 裕平1、倉島 凛太郎1、吉原 実奈美1、星野 靖1 (1.神奈川大理)

[21p-C402-6]高純度ダイヤモンドへの低濃度Bイオン注入によるp型電気伝導層形成

〇(M2)吉原 実奈美1、関 裕平1、星野 靖1 (1.神奈川大理)

[21p-C402-7]核種変換によるLiドープダイヤモンドの製作(3) -エピタキシャル成長薄膜中のBeの熱拡散の調査-

〇三宅 泰斗1、奥野 広樹1、渡邊 幸志2 (1.理研仁科センター、2.産総研)

[21p-C402-8]二酸化炭素還元を目指した超ナノ微結晶ダイヤモンド薄膜の水素発生電位の制御

〇長野 里基1、Lama Osman1、Abdelrahman Zkria2、楢木野 宏1、吉武 剛1 (1.九大総理工、2.九大E-JUSTセンター)

[21p-C402-9]ダイヤモンドフィラーの沈降を抑制した伝熱シートの熱伝導特性

〇稲葉 優文1、清家 清弥1、中野 道彦1、末廣 純也1 (1.九大シス情)

[21p-C402-10]コロナ放電の負イオン照射によるC-Hダイヤモンド表面伝導性の改善

〇(B)山本 稜将1、賈 学楨1、成田 憲人1、太田 康介1,2、平岩 篤1、藤嶌 辰也2、川原田 洋1,2,3 (1.早大理工、2.(株) Power Diamond Systems、3.早大材研)

[21p-C402-11]ダイヤモンド半導体の光電子放出機構とキャリア拡散長評価

塚本 涼太1,2、山川 翔也1,2、加藤 宙光2、加藤 有香子2、小倉 政彦2、長井 雅嗣2、牧野 俊晴2、〇竹内 大輔1,2、庄司 一郎1 (1.中央大院理工、2.産総研)

[21p-C402-12]パーマロイ/B ドープダイヤモンドショットキー接触のキャリア伝導機構

〇河野 慎1、クーニャ カルロス1、平間 一行1、熊倉 一英1、谷保 芳孝1 (1.NTT物性研)

[21p-C402-13]Effect of Energy Dissipation in Higher-Order Resonance on SCD MEMS Cantilevers Toward High f·Q

〇(D)Guo Chen1,2, Zilong Zhang1, Keyun Gu1, Satoshi Koizumi1, Zhaohui Huang2, Meiyong Liao1 (1.NIMS, 2.China University of Geosciences (Beijing))

[21p-C402-14]時間分解SNDMによるAl2O3/ダイヤモンドの局所MOS容量-電圧特性測定

〇山末 耕平1、尾形 結友1、松本 翼2、德田 規夫2、長 康雄1 (1.東北大、2.金沢大)

[21p-C402-15]水素終端縦型ダイヤモンドMOSFETにおける低オン電圧実現に向けた構造検討

〇雨堤 耕史1,2、太田 康介1,2、藤嶌 辰也1、川原田 洋1,2,3 (1.(株)Power Diamond Systems、2.早大理工、3.早大材研)

[21p-C402-16]縦型高周波ダイヤモンドMOSFETsにおけるソース・ドレイン電極位置の交換による電流密度向上

〇(B)高野 優希1、浅井 風雅1、長 幸宏1、太田 康介1,2、高橋 輝1、平岩 篤1、藤嶌 辰也2、川原田 洋1,2,3 (1.早大理工、2.(株) Power Diamond Systems、3.早大材研)