講演情報
[21p-C402-2]高分解能EBSD法による単結晶ダイヤモンド中の転位束の解析
〇田中 孝治1、高野 美和子2、梅沢 仁1、杢野 由明1、山田 英明1 (1.産総研、2.物材研)
キーワード：
高分解能EBSD法,転位束,KAMマップ
高分解能EBSD法による単結晶ダイヤモンド中の転位束の解析結果を発表する。マーカーを付けた単結晶ダイヤモンドを偏光顕微鏡で観察して転位の位置を特定し、SEMにてその特定の場所を観察し、EBSD測定を行った。ある測定点とその周りの測定点との方位差の平均値であるKAM値のマッピングでは、転位束が局所的に方位差（歪み）の大きい領域として示された。