[21p-D903-1~16] 6.4 薄膜新材料

17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[21p-D903-13] 複合成膜により成膜された低屈折率SiO₂光学薄膜(3)

〇(D)田島 直弥¹、室谷 裕志¹、松平 学幸² (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)

キーワード：

光学薄膜,SiO2,充填密度