講演情報
[21p-D903-4]ターゲット交互積層法によるZrNxHy薄膜の作製と金属-絶縁体転移
〇宮崎 大地1、大友 明1、相馬 拓人1 (1.東工大物質理工)
キーワード：
水窒化物,交互積層,パルスレーザー堆積法
水窒化物は複合アニオン化合物の一つであり，I, II族ではBa2NHのヒドリド伝導やCa2NHのアンモニア合成触媒活性など，興味深い物性が報告されている．我々は，金属Zrと水素との親和性の高さに注目し，パルスレーザ堆積法 (PLD)によりZrHy (0 ≤ y ≤ 3.3)薄膜を作製した．今回，ZrNxHy薄膜の組成制御を試みたので報告する．