講演情報
[21p-P01-11]メチルアセチレンプラズマにおけるアモルファス炭素の成膜過程の赤外分光計測
〇桑田 篤哉1、大石 侑叶1、篠原 正典1、田中 諭志2、松本 貴士2 (1.福岡大工、2.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
キーワード：
メチルアセチレン,成膜過程,赤外分光法
メチルアセチレンプラズマ中の堆積過程を多重内部反射赤外吸収分光法(MIR-IRAS)を用いて調べた。赤外吸収スペクトルから成膜した膜にはsp2-C、sp3-CH2の成分が形成されていることがわかった。また、アセチレンプラズマと比較するとsp2-Cのピーク強度が大きく変化してないのに対し、sp3-CH2のピーク強度が大きく増大していることがわかった。その結果、メチルアセチレン分子に含まれるメチル基が水素供給源となり、膜を水素化していると考えられる。