[21p-P02-1~6] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[21p-P02-1] RFスパッタリング法を用いたSiGe複合膜の堆積と高容量Liイオン電池負極への応用

〇中田 智久¹、花井 稜¹、益本 幸泰¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、横井 玲音¹、丹羽 亮斗¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

Liイオン電池,スパッタリング