セッション詳細
[21p-P02-1]RFスパッタリング法を用いたSiGe複合膜の堆積と高容量Liイオン電池負極への応用
〇中田 智久1、花井 稜1、益本 幸泰1、石原 雅之1、大前 知輝1、横井 玲音1、丹羽 亮斗1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
[21p-P02-2]Siナノ粒子/C微粒子ハイブリッド多孔質膜を負極とするLiイオン電池の開発
〇石原 雅之1、花井 稜1、益本 幸泰1、大前 知輝1、中田 智久1、丹羽 亮斗1、横井 玲音1、内田 義一郎1 (1.名城大学理工)
[21p-P02-3]サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果
〇(M2)小野 晋次郎1、恵利 眞人1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、山下 尚人1、木山 治樹1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大)
[21p-P02-4]TMVSを原料として作製したSiO:CH微粒子堆積膜の化学結合状態に対するAr分圧の影響
〇中泉 有稀1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大院工、2.関東学院大材料表面研)