講演情報
[21p-P02-3]サンドウィッチ構造 a-C:H 膜の剥離と強度に対する 膜界面に堆積したナノ粒子の効果
〇(M2)小野 晋次郎1、恵利 眞人1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、山下 尚人1、木山 治樹1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1 (1.九大)
キーワード：
カーボンナノ粒子,ナノインデンター,プラズマ
アモルファスカーボン(a-C(:H))薄膜は、保護膜や半導体デバイス作製時のハードマスク、医療機器の生体適合化膜など、多くの分野で研究されています。膜剥離に関連する機械特性（膜応力や破壊靭性）は膜の耐久性に重要であり、最近の研究ではカーボンナノ粒子(CNP)をa-C(:H)薄膜に導入することで膜応力が低減することを明らかにしました。本研究では、CNPを挿入したサンプルの他の特性を評価し、CNPが膜の機械特性に与える影響を検討しました。