[21p-P06-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-P06-3] a面サファイア上への六方晶窒化ホウ素の減圧CVD

〇太田 颯真¹、大石 泰己¹、青池 琉希¹、高橋 悠真¹、竹村 晃¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大院、2.光医工研、3.電子工研)

キーワード：

六方晶窒化ホウ素,CVD,a面サファイア