[21p-P06-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-P06-4] エピタキシャルAlN膜上への六方晶窒化ホウ素の減圧CVD

〇青池 琉希¹、大石 泰己¹、太田 颯真¹、高橋 悠真¹、竹村 晃¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大光医工研、3.静岡大電子研)

キーワード：

BN,AlN,CVD