[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-10] サファイア基板上への原子ステップを有するZn_1-xMg_xO薄膜の形成：3次元島バッファー層の形成温度の影響

〇矢高 功太郎¹、湯上 貴文¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シス情)

キーワード：

ZnMgO,スパッタリング,ヘテロエピタキシー