講演情報
[21p-P09-17]ミストCVD法におけるα型酸化ガリウムの初期成長過程の検討
〇田村 大翔1、宇野 和行1 (1.和歌山大システム工)
キーワード：
酸化ガリウム,ミストCVD法,初期成長過程
ミストCVD法によるα型酸化ガリウム薄膜の結晶性向上のために初期成長を検討した。アセチルアセトナート化した原料水溶液を用いてc面サファイア基板上に成長した場合は、結晶成長が一様に進んでいたが、a面サファイア基板上に成長した場合にはステップに沿って成長することが確認できた。m, n, r面についての結果、およびクロロ錯体化した原料水溶液を用いた場合との比較については当日報告する。