講演情報

[21p-P09-22]曲げ応力を印加したβ-Ga₂O₃(001)基板の顕微ラマン測定による断面応力分布評価

〇前田一誠¹、園田友基¹、蓮池紀幸¹、一色俊之¹、小林健二² (1.京工繊大、2.日立ハイテク)

ラマン,酸化ガリウム,応力