[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-25] ZnON 膜からの固相結晶化 ZnO 膜の形成と透明導電膜シード層としての効果：ZnON 膜の結晶化度の影響

〇和田 義晴¹、沈 志遠¹、薮田 久人¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九州大学)

キーワード：

透明導電膜,ZnO,スパッタリング