講演情報

[21p-P09-7]ミストCVD法におけるGa₂O₃薄膜成長速度のGa原料種依存性

〇赤岩和明¹、市野邦夫¹、高橋勲²、柿本浩一²、吉川彰² (1.鳥取大学、2.東北大学)

酸化ガリウム,ミストCVD,薄膜成長