[22a-A303-1~9] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:45 〜 10:00

[22a-A303-4] 陽電子消滅寿命測定法による接合界面の空孔解析

〇斎藤 聡哲¹、藤井 宣年¹、古瀬 駿介¹、小川 直樹¹、齋藤 卓¹、萩本 賢哉¹、岩元 勇人¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ(株))

キーワード：

接合界面,陽電子消滅寿命測定法