講演情報

10:30 〜 10:45

[22a-A303-7]新電解技術によるSi酸化膜へのエッチングシミュレーション

〇岩津春生¹、松島章² (1.熊本工学会、2.福岡工業大学)

エッチング,ウェット,指向性

ウェットエッチングは、ドライエッチングに対して、等方性、エッチングレート、液盛、液切りによる反応差異、材料の清浄度等の欠点があり、洗浄工程の表面エッチングなどに限定されている。今回、新電解技術での新たなウェットエッチングの可能性についてシミュレーションを行ったので報告する。