講演情報
[22a-A303-8]コバルトエチレンジアミン錯体溶液中の平衡電極電位の磁場依存性
〇田口 侑宜1、杉浦 修1 (1.千葉工大工)
キーワード：
中性無電解銅めっき,配線技術
中性無電解銅めっき法は、従来の無電解銅めっき法と異なり、①pH7でめっき可能、②水素ガス放出がない、という点で集積回路製造プロセスに適した方法である。また，還元剤であるコバルトエチレンジアミン錯体の磁性より、めっき表面に磁場勾配を発生させると、めっき速度が2倍から3倍まで増加することが実験的に示されている。今回、このめっき促進効果をめっき液中の電極電位変化で捉えられないか検討したので報告する。