[22a-A304-1~10] 6.4 薄膜新材料

11:15 〜 11:30

[22a-A304-10] 光スイッチ材料としてのMnTe薄膜の評価

〇桑原 正史¹、金 美賢²、森 竣祐²、双 逸²、須藤 祐司²、河島 整¹ (1.産総研、2.東北大)

キーワード：

MnTe,光通信用スイッチ素子,結晶構造変化

我々は、Ge₂Sb₂Te₅(GST)を用いて、光通信用のスイッチ素子を作製し、動作の検証に成功している。しかしながら、通信波長帯の1.55μmでGSTの吸収が大きく、2x2以上の光路切り替えスイッチ動作には不向きという欠点があった。近年、東北大の須藤教授らによって報告されたMnTeは、光通信帯での吸収が非常に小さいと予想され、大変有望な材料と考えられている。MnTeをスイッチ素子に応用すべく、成膜や光学特性に関して研究を開始したので報告する。