[22a-A304-1~10] 6.4 薄膜新材料

9:15 〜 9:30

[22a-A304-2] Cuキレート錯体水溶液を用いて作製したCu膜の深さ方向分析

〇廣瀧 蒼介¹、小松 啓志¹、中村 淳²、伊藤 治²、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：

Cuキレート錯体水溶液,Cu膜,深さ方向分析