[22a-A304-1~10] 6.4 薄膜新材料

9:30 〜 9:45

[22a-A304-3] EDTA金属錯体を原料とした還元焼成プロセスによる銅コーティング

〇柴田 響一¹、石田 健¹、木村 玲皇¹、中村 淳^1,2、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：

EDTA金属錯体,還元焼成プロセス,銅コーティング