[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:00 〜 9:15

[22a-A401-1] プラズマドライエッチングを用いたイットリウム鉄ガーネットに対する微細加工の検討

〇(M2)北井 達也¹、高 思源²、谷口 公太¹、岩本 敏²、太田 泰友¹ (1.慶應理工、2.東大先端研)

キーワード：

プラズマドライエッチング,イットリウム鉄ガーネット

イットリウム鉄ガーネット(YIG)に対する高精度な微細加工技術の構築は、同材料を用いた磁気ナノフォトニクスの探求に不可欠と言える。しかしYIGは難加工性材料であり、光の波長スケールで高品質なYIG光学構造を自在に形成する技術は未だ実現されていない。今回我々は、Arガスのみを用いたドライエッチングを検討し、急峻なエッチング側壁角の実現に成功したので報告する