[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 | 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22a-A401-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2023年9月22日(金) 9:00 〜 12:00

A401 (熊本城ホール)

今村翼(日立製作所)

9:00 〜 9:15

[22a-A401-1]プラズマドライエッチングを用いたイットリウム鉄ガーネットに対する微細加工の検討

〇(M2)北井達也¹、高思源²、谷口公太¹、岩本敏²、太田泰友¹ (1.慶應理工、2.東大先端研)

9:15 〜 9:30

[22a-A401-2]計算科学による新規エッチングガスの探索(II)

〇林俊雄¹、石川健治¹、関根誠¹、堀勝¹ (1.名古屋大学工)

9:30 〜 9:45

[22a-A401-3]高アスペクト比構造用に設計された新規加工ガス

〇長谷川智¹、ガマリェエフウラディスラフ¹、ゴッセニコラ¹ (1.エアリキードラボ)

9:45 〜 10:00

[22a-A401-4]Ar/C₄F₈/O₂容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

〇加藤閣人¹、赤塚勇大¹、久保井宗一¹、鈴木陽香^1,2、豊田浩孝^1,2,3 (1.名古屋大学、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[22a-A401-5]CF₃⁺イオン照射におけるタングステンエッチング反応の評価

〇川畑竣大¹、伊藤智子¹、Kang Song-Yun²、Son Jiwon²、Lee Dongkyu²、唐橋一浩¹、浜口智志¹ (1.阪大院工、2.Samsung Electronics)

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[22a-A401-6]容量結合型パルスプラズマにおける負イオンの電極材料依存性

〇(M2)都地一輝¹、堤隆嘉²、蕭世男²、関根誠²、石川健治²、堀勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)

10:30 〜 10:45

[22a-A401-7]低温における絶縁膜の擬ウェットプラズマエッチング

〇蕭世男¹、関根誠¹、飯島祐樹²、須田隆太郎²、大矢欣伸²、木原嘉英²、堤隆嘉²、石川健治²、堀勝¹ (1.名古屋大学、2.東京エレクトロン)

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[22a-A401-8]CF₄/H₂プラズマによるSiO₂,SiN,a-C膜の低温エッチング

〇(M1)今井祐輔¹、蕭世男²、関根誠²、飯島祐樹³、須田隆太郎³、大矢欣伸³、木原嘉英³、堤隆嘉²、石川健治²、堀勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学センター、3.東京エレクトロン宮城)

11:00 〜 11:15

[22a-A401-9]Bosch processにおけるパッシベーション膜の特性と加工形状

〇野中知行^1,2、高橋和生¹、内田聡充²、ルンドガードステファン²、辻理² (1.京工繊大、2.サムコ(株))

11:15 〜 11:30

[22a-A401-10]反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングと発光分光に関する検討

〇松本響平¹、花房宏明¹、東清一郎¹ (1.広大先進理工)

11:30 〜 11:45

[22a-A401-11]３Ｄチップレット集積のためのポリマーファインビアエッチング技術の開発

〇大竹文人¹、森川泰宏¹、栗田洋一郎² (1.アルバック、2.東工大)

11:45 〜 12:00

[22a-A401-12]斜入射イオンビーム照射によるエッチング生成物の脱離角度分布

〇伊藤智子¹、唐橋一浩¹、浜口智志¹ (1.阪大院工)

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