2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会

〇(M2)北井 達也¹、高 思源²、谷口 公太¹、岩本 敏²、太田 泰友¹ (1.慶應理工、2.東大先端研)

〇林 俊雄¹、石川 健治¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名古屋大学工)

〇長谷川 智¹、ガマリェエフ ウラディスラフ¹、ゴッセ ニコラ¹ (1.エアリキードラボ)

〇加藤 閣人¹、赤塚 勇大¹、久保井 宗一¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名古屋大学、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

〇川畑 竣大¹、伊藤 智子¹、Kang Song-Yun²、Son Jiwon²、Lee Dongkyu²、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.Samsung Electronics)

〇(M2)都地 一輝¹、堤 隆嘉²、蕭 世男²、関根 誠²、石川 健治²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)

〇蕭 世男¹、関根 誠¹、飯島 祐樹²、須田 隆太郎²、大矢 欣伸²、木原 嘉英²、堤 隆嘉²、石川 健治²、堀 勝¹ (1.名古屋大学、2.東京エレクトロン)

〇(M1)今井 祐輔¹、蕭 世男²、関根 誠²、飯島 祐樹³、須田 隆太郎³、大矢 欣伸³、木原 嘉英³、堤 隆嘉²、石川 健治²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学センター、3.東京エレクトロン宮城)

〇野中 知行^1,2、高橋 和生¹、内田 聡充²、ルンドガード ステファン²、辻 理² (1.京工繊大、2.サムコ(株))

〇松本 響平¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先進理工)

〇大竹 文人¹、森川 泰宏¹、栗田 洋一郎² (1.アルバック、2.東工大)

〇伊藤 智子¹、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)