[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:15 〜 11:30

[22a-A401-10] 反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングと発光分光に関する検討

〇松本 響平¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大先進理工)

キーワード：

プラズマ,エッチング,フォトレジスト

スピンコータによるフォトレジスト(PR) 塗布後のウェハ端部には、エッジビードが形成される。これは露光工程の妨げとなり、また剥離によりパーティクルを生じて歩留まり低下の要因となる。そのため、現在は有機溶剤により除去するEBR工程が導入されている。しかし有機溶剤の最終廃液処分に伴う二酸化炭素排出量の削減は、カーボンニュートラル達成の上で解決しなければならない課題となっている。我々は反応性大気圧熱プラズマジェット(R-TPJ) 照射により局所的な加熱と同時に酸素ラジカルをPRに供給することで61.5 µm/sと高いエッチングレートを報告している。本研究では、原子状酸素ラジカルの相対発光強度とR-TPJの投入電力、エッチングレートの関係性について調査を行った。