[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:45 〜 10:00

[22a-A401-4] Ar/C₄F₈/O₂容量結合型パルスプラズマにおける放電開始直後の電離レートをもとにしたイオン組成の定量的評価

〇加藤 閣人¹、赤塚 勇大¹、久保井 宗一¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名古屋大学、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード：

プラズマ,エッチング,イオン組成

Ar/C₄F₈/O₂パルスプラズマのイオン組成変化を測定するとともに、組成時間変化がパルスOn直後と定常時の電子温度の違いとそれにともなう各イオンの電離レートの変化に起因することを指摘してきた。今回これを実証するため、実験的に評価したパルスOn直後の電離レートからパルスOn直後の各イオンの電離レート比を評価し、イオン組成の測定結果と比較検討をおこなった。