講演情報

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[22a-A401-5]CF₃⁺イオン照射におけるタングステンエッチング反応の評価

〇川畑竣大¹、伊藤智子¹、Kang Song-Yun²、Son Jiwon²、Lee Dongkyu²、唐橋一浩¹、浜口智志¹ (1.阪大院工、2.Samsung Electronics)

高アスペクト比エッチング,イオンビーム