[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

10:15 〜 10:30奨励賞エントリー

[22a-A401-6] 容量結合型パルスプラズマにおける負イオンの電極材料依存性

〇(M2)都地 一輝¹、堤 隆嘉²、蕭 世男²、関根 誠²、石川 健治²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)

キーワード：

パルスプラズマ,負イオン