[22a-A401-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:00 〜 11:15

[22a-A401-9] Bosch processにおけるパッシベーション膜の特性と加工形状

〇野中 知行^1,2、高橋 和生¹、内田 聡充²、ルンドガード ステファン²、辻 理² (1.京工繊大、2.サムコ(株))

キーワード：

プラズマ,エッチング,MEMS

Bosch process は、シリコンの深堀エッチング方法のひとつであり、シリコン側壁を保護するためのパッシベーション膜としてC₄F₈プラズマ中で堆積した重合膜を使用する。本研究では、C₄F₈プラズマの条件を変えながら、重合膜の成膜速度を測定し、化学組成の解析を行った。また、Fラジカルを照射した後の重合膜のエッチレートを測定し、化学組成の変動を解析した。さらに、加工中の重合膜の変形とその加工形状への影響を調査した。