講演情報

[22a-B101-10]N極性面AlNの結晶品質がGaN/AlN構造の電気特性に及ぼす影響

〇小脇 岳土1、花咲 光基1、宮本 弥凪1、稲原 大輔1、Zazuli Aina Hiyama1、藤井 開1、木本 大星1、仁ノ木 亮祐1、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1 (1.山口大院創成科学)

キーワード:

窒化アルミニウム,窒化ガリウム