[22a-B101-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

11:00 〜 11:15

[22a-B101-8] アンモニアフリー高温 MOCVD 法 による 窒素極性 AlN の 成長

〇沈 旭強¹、児島 一聡¹ (1.産総研)

キーワード：

窒化アルミニウム,窒素極性

我々は今回、TaCコーティングサセプターを用いアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOCVD)で窒素極性AlN薄膜の成長を実現したので、その結果を報告する。