講演情報

[22a-B202-2]4探針プローブ法を用いたMg2Siバルク基板のキャリア密度評価

〇尾嶋 海人1、植松 達哉1、坂根 駿也1、鵜殿 治彦1 (1.茨城大)

キーワード:

4探針プローブ法