講演情報
[22a-C402-8]2次元ホールアレイ型金属回折格子によるSOIフォトダイオードの光感度向上効果
〇山本 竜爾1、佐藤 弘明1,2 (1.静岡大院総科技、2.静岡大電子研)
キーワード：
SOIフォトダイオード,回折格子,分光感度特性
本報告では、2次元ホールアレイ型金属回折格子付SOI（silicon-on-insulator）フォトダイオードの分光感度特性において、金属回折格子による光感度向上効果の起源についてFDTD法による解析結果と試作デバイスの測定結果から検討したところ、金属回折格子近傍に励起される近接場とSOI導波路モードとの間で位相整合条件が満たされた際に光感度向上効果が得られることを見出した。詳細は当日報告する。