講演情報
[22p-A304-6]複合成膜手法で作製した非晶質TiO2薄膜の低屈折率化の検討
〇速水 舞1、室谷 裕志2、松平 学幸3 (1.東海大学院総合理工、2.東海大工、3.(株)シンクロン)
キーワード：
光学薄膜,TiO2,低屈折率化
当研究室では、複合成膜手法を開発し、従来手法よりも屈折率が低い薄膜の作製に成功している。この手法は、電子ビーム蒸着法とDCパルススパッタリング法を同時に作動させて連続的な成膜を行うものである。本実験では、N-BK7光学ガラス基板上にTiO2膜を作製し、分光光度計、ナノインデンター、AFMで測定した。結果として、成膜時チャンバー内圧力の増加は平均自由行程の減少と膜中への残留ガスの増加に伴う膜の充填率の変化を生み、それに伴い膜構造や物理的特性に影響していると考えられる。