2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：グリーン・サステナブル半導体製造技術の体系的構築

[22p-A401-1~10]グリーン・サステナブル半導体製造技術の体系的構築

2023年9月22日(金) 13:30 〜 17:50
A401 (熊本城ホール)
内田 紀行(産総研)、 牧野 孝太郎(産総研)
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13:30 〜 13:35

[22p-A401-1]オープニング

〇内田 紀行1 (1.産総研)
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13:35 〜 14:05

[22p-A401-2]半導体製造のグリーンサステナブル検討

〇加藤 凡典1 (1.(有)　エー・アイ・ティ)
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14:05 〜 14:35

[22p-A401-3]半導体製造のライフサイクル分析に向けて

〇松八重 一代1 (1.東北大環境)
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14:35 〜 15:05

[22p-A401-4]半導体のLCAに向けたIDEAの活用

〇田原 聖隆1、畑山 博樹1 (1.産総研)
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15:05 〜 15:35

[22p-A401-5]デジタル技術によるサプライチェーンCO2排出量「見える化」への挑戦

〇稲垣 孝一1 (1.日本電気株式会社)
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15:45 〜 16:15

[22p-A401-6]ロームにおける半導体製造のサステナビリティ

〇重信 好行1 (1.ローム)
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16:15 〜 16:45

[22p-A401-7]環境負荷低減に貢献する半導体製造プロセスにおけるモニタリング技術

〇南 雅和1 (1.堀場エステック)
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16:45 〜 17:15

[22p-A401-8]半導体製造ガスに関する流量標準について

〇森岡 敏博1 (1.産総研)
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17:15 〜 17:45

[22p-A401-9]材料開発における4つのインフォマティクスと自律材料探索

〇岩崎 悠真1 (1.物材機構)
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17:45 〜 17:50

[22p-A401-10]クロージング

〇金山 敏彦1 (1.産総研)
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