[22p-A401-1~10] グリーン・サステナブル半導体製造技術の体系的構築

16:45 〜 17:15

[22p-A401-8] 半導体製造ガスに関する流量標準について

〇森岡 敏博¹ (1.産総研)

キーワード：

計量標準,気体流量,半導体製造ガス

半導体製造ガスの流量標準の開発、普及を目的とした産総研と国内MFCメーカーとのラウンド・ロビンテストについて紹介する。