講演情報

13:45 〜 14:00

[22p-B101-2]THz-TDSEによるMgイオン注入したGaN単結晶の電気特性評価(II)

〇王丁丁¹、渡邉迅登¹、藤井高志^1,3、出浦桃子²、岩本敏志³、須山篤志⁴、川野輪仁⁴、荒木努¹ (1.立命館大理工、2.R-GIRO、3.日邦プレシジョン、4.イオンテクノセンター)

窒化ガリウム,テラヘルツエリプソメトリ,イオン注入