2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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15:30 〜 15:45

[22p-B101-8]顕微ラマン分光法によるELO GaN層の面内応力マッピング

〇小倉 広之1、武内 一真1、神川 剛1 (1.京セラ株式会社)
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キーワード：

ラマン分光,GaN,応力分布

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